德國PI位移平臺將亞納米分辨率和導向精度與小串擾相結(jié)合。這使其特別適合于計量學，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動態(tài)掃描，在高達6個自由度的情況下可達幾百赫茲。